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半导体&薄膜高温计

美国AE公司旗下的Sekidenko是温度计品牌,包括光纤温度计、快速高温计、发射率计和温度控制仪器等。Sekidenko高温计用于电浆辅助化学气相沈积(PECVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)、物理气相沉积(PVD)和金属刻蚀。由于 OR400T 具有紧凑型设计,因此能够轻松整合以满足多种工艺应用的特殊要求。

  • Sekidenko MXE 高温计

    Sekidenko MXE高温计兼具速度和精度,实现高要求应用下的准确、非接触和可重复测量。其高速(高达10kHz)的性能特点,适用于不断移动的被测量物,例如旋转基座。它还特别适用于动态工艺,包括激光类处理或快速退火。Sekidenko MXE设计紧凑,易于集成和灵活...

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