Sekidenko OR400T-上海麦兴仪器设备有限公司

Sekidenko OR400T 高温计

Advanced Energy ®的OR400T光纤温度计能为半导体制程提供优异的非接触式温度测量解决方案，具体包括PECVD、LPCVD、PVD和金属蚀刻等应用。OR400T设计紧凑，易于集成，可满足许多工艺应用的独特要求。

Sekidenko OR400T产品资料 297 KB

Sekidenko OR400T产品手册 100 KB

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产品描述技术规格

优点：

● 提高温度测量准确性

● 提高晶圆间的均匀性

● 提供性价比更高的热电偶类测量替代方案

● 提高生产率、产量和生产能力

特点：

● 紧凑的单通道设计

● 原位、非接触式温度测量

● 支持RS-232和模拟数据接口，温度读取速率高达20次/秒

● 提高低温测量的性能

Sekidenko OR400T 高温计