Advanced Energy ®的 OR400M光学高温计将Sekidenko产品系列的应用范围扩展至3.3µm–5.2µm的中红外波长范围。 OR400M可进行单通温度测量，用于半导体设备的高精密温度测量，用于硅片，腔室的精确测温。OR400M支持RS-232和模拟数据接口。OR400M设计紧凑，易于集成，可满足许多工艺应用的独特要求。