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Sekidenko OR4000T 高温计

Advanced Energy ®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程,应用于半导体硅片,外延,晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力,支持高达2kHz的读取速率,符合半导体应用中极为严格的要求。其采用模块化设计,可快速量身定制,满足独特的工艺应用要求。

产品描述技术规格

优点:

● 提高可重复性并显著减小误差

● 提高生产率、产量和生产能力

● 提高多个腔室和基材的稳定性和可靠性


特点:

● 主动辐射率检测和补偿

● 温度和辐射率读取速率快

● 模块化的结构具有高灵活性

● 全套I/O和外部触发器/同步组件
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