Advanced Energy ®的 OR4000T多通道光纤测温仪（OFT）可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程，应用于半导体硅片，外延，晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温；OR4000T型具备多通道能力，支持高达2kHz的读取速率，符合半导体应用中极为严格的要求。其采用模块化设计，可快速量身定制，满足独特的工艺应用要求。