Advanced Energy ®的 OR4000E多通道光纤测温仪（OFT）能够自动探测测量材料发射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程。OR4000E型具有类似OR4000T的高速性能，并且兼具实时辐射率补偿的优点。其采用模块化设计，可快速量身定制，满足独特的工艺应用要求。