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60年红外测温专家
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电话热线 ： 021-5888 6718
手机号码 ： 133 8186 8102
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美国AE公司旗下的Sekidenko是温度计品牌，包括光纤温度计、快速高温计、发射率计和温度控制仪器等。Sekidenko高温计用于电浆辅助化学气相沈积(PECVD)、低压化学气相沉积(LPCVD)、物理气相沉积(PVD)和金属刻蚀。由于 OR400T 具有紧凑型设计，因此能够轻松整合以满足多种工艺应用的特殊要求。
Advanced Energy ®的 OR400M光学高温计将Sekidenko产品系列的应用范围扩展至3.3µm–5.2µm的中红外波长范围。 OR400M可进行单通温度测量，用于半导体设备的高精密温度测量，用于硅片，腔室的精确测温。OR400M支持RS-232和模拟数据接口。OR400M设计紧凑，...
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Advanced Energy ®的 OR4000T多通道光纤测温仪（OFT）可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程，应用于半导体硅片，外延，晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温；OR4000T型具备多通道能力，支持高达2kHz的读取速率，符合半导体应用中极为严格...
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Advanced Energy ®的 OR4000E多通道光纤测温仪（OFT）能够自动探测测量材料发射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程。OR4000E型具有类似OR4000T的高速性能，并且兼具实时辐射率补偿的优点。其采用模块化设计，可快速量身定制，...
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Mikron PhotriX 系列高温计是一款高精度的非接触式红外测温仪，可以用于单通道测量或者多通道测量，使用短波、窄带红外探测器，最大限度的减少发射率误差，提高测量精度；提供了从30 - 2600℃的超宽测温范围，±1.5°C或读数的0.15%的高测量精度，0.15°C/每...
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Advanced Energy ®的OR400T光纤温度计能为半导体制程提供优异的非接触式温度测量解决方案，具体包括PECVD、LPCVD、PVD和金属蚀刻等应用。OR400T设计紧凑，易于集成，可满足许多工艺应用的独特要求。
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