60年红外测温专家
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Advanced Energy ®的 OR4000T多通道光纤测温仪(OFT)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各种半导体工艺过程,应用于半导体硅片,外延,晶圆镀膜等各种工艺的高精度测温;OR4000T型具备多通道能力,支持高达2kHz的读取速率,符合半导体应用中极为严格...
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